ICP光譜儀常見故障可分為：等離子矩光源熄火或難點(diǎn)火故障、進(jìn)樣系統(tǒng)故障、機(jī)械掃描單色器故障及環(huán)境因素造成的故障、氣路系統(tǒng)故障、循環(huán)水冷系統(tǒng)故障及環(huán)境因素造成的故障等。儀器內(nèi)部部件出現(xiàn)故障一般要通知儀器生產(chǎn)商專業(yè)維修工程師來解決，但實(shí)驗(yàn)室也有相當(dāng)?shù)膬x器外部條件或進(jìn)樣系統(tǒng)簡(jiǎn)單的故障可由操作人員預(yù)先進(jìn)行排除。以下從幾種常見故障可能的原因來分析，儀器操作人員可結(jié)合實(shí)驗(yàn)室實(shí)際對(duì)這些故障進(jìn)行排除。
(1) ICP等離子體無法點(diǎn)亮，
① 點(diǎn)火時(shí)無反應(yīng)，應(yīng)檢查氬氣純度是否達(dá)到規(guī)定的純度99．99％以上。
② 點(diǎn)火時(shí)按“IGNITE”鍵后，即有一類似環(huán)形火焰繞在銅線圈上。這種現(xiàn)象表明矩管使用時(shí)間過長(zhǎng)，需要更換清洗。
③ 在操作中，若發(fā)現(xiàn)炬管內(nèi)有螺旋狀放電現(xiàn)象，則有可能是矩管內(nèi)有水汽，需更換干燥的矩管；也可能是矩管過熱，進(jìn)樣系統(tǒng)(如霧化器的前端噴嘴)發(fā)生堵塞等。因此，應(yīng)仔細(xì)檢查，確定原因后，采取相應(yīng)措施。
④ 循環(huán)水冷系統(tǒng)是否有充足的冷卻液，否則儀器也會(huì)出現(xiàn)不點(diǎn)火的情況。
⑤ 點(diǎn)火時(shí)，按點(diǎn)火(IGNITE)鍵，僅聽見點(diǎn)火器發(fā)出的輕微響聲，但點(diǎn)不著火；不加高壓RF，現(xiàn)象仍相同。則可初步判定為RF發(fā)生器無輸出功率，需聯(lián)系儀器專業(yè)工程師維修。
(2) ICP使用過程中熄火
① 排風(fēng)系統(tǒng)排風(fēng)不暢或不連續(xù)，等離子矩區(qū)域的熱量無法及時(shí)排出，影響等離子炬的穩(wěn)定。因排風(fēng)故障造成的熄火一般在儀器連續(xù)使用30min后才會(huì)出現(xiàn)。
② 炬管的安裝位置對(duì)于等離子炬的穩(wěn)定至關(guān)重要，但其對(duì)儀器的啟動(dòng)影響更大，會(huì)造成等離子炬無法正常點(diǎn)火或點(diǎn)火后無法持久等現(xiàn)象。
③ 功率、霧化氣、冷卻氣等操作參數(shù)對(duì)等離子體炬的穩(wěn)定都有一定影響。
④ 炬管外圍的銅線圈外壁結(jié)垢、管內(nèi)部結(jié)垢、循環(huán)系統(tǒng)滲漏及管道過濾器堵塞等原因?qū)е卵h(huán)水量不足以及風(fēng)冷效果不佳(與室內(nèi)溫度有直接關(guān)系)均會(huì)影響循環(huán)水冷卻的效果。
⑤ 大功率管老化，運(yùn)行不穩(wěn)定。
⑥ 氣源壓力過低而導(dǎo)致的自動(dòng)保護(hù)，或者載氣(氬氣)純度不夠，儀器等離子炬不穩(wěn)定。
⑦ 檢查循環(huán)水冷器是否正常工作，如可能由于冷卻水溫度過高。
⑧ 其它的人為操作問題，如觸動(dòng)聯(lián)鎖控制點(diǎn)(開關(guān)等)，造成熄火。
⑨ 是否高頻發(fā)生器發(fā)生故障。
(3) 儀器無信號(hào)
① 檢驗(yàn)中，突然沒有數(shù)據(jù)輸出，則可能是霧化器的進(jìn)樣管或載氣管脫落而造成的。
② 檢驗(yàn)時(shí)采集不到積分的數(shù)據(jù)，也可能是光學(xué)系統(tǒng)控制異常，如光柵轉(zhuǎn)動(dòng)異常導(dǎo)致所選用的某一元素的一些譜線不能準(zhǔn)確地照射到出射狹縫上。這時(shí)可以暫時(shí)中斷當(dāng)前的分析，再重新進(jìn)行一次波長(zhǎng)校正。如果同時(shí)進(jìn)行的是多元素的測(cè)定，則只需對(duì)檢測(cè)不到的元素進(jìn)行波長(zhǎng)校正，然后再進(jìn)入分析狀態(tài)繼續(xù)進(jìn)行柃測(cè)。
(4) 信號(hào)很不穩(wěn)定
① 如果發(fā)現(xiàn)RSD變大，但霧化室并無故障跡象顯示，請(qǐng)檢查霧化器和氬氣導(dǎo)管的接口及其密封性。Tygon或其它聚合物導(dǎo)管用久了有時(shí)會(huì)變硬，喪失其柔韌的氣密性。在許多ICP分析作業(yè)中，即使1％的氬氣損失都可以產(chǎn)生幾個(gè)百分比的改變。還需檢查霧化器，避免有少量空氣進(jìn)入。
② 檢驗(yàn)中發(fā)現(xiàn)元素掃描強(qiáng)度突然降低，或短期精密度達(dá)不到要求，應(yīng)檢查霧化器及進(jìn)樣管，如任何一方堵塞，此時(shí)可更換或清洗霧化器。如霧化器霧化效率較低，則可以確定是霧化器前端噴嘴破損，此時(shí)可更換霧化器。工作中發(fā)現(xiàn)載氣流量大大低于正常設(shè)定值，無論怎么調(diào)節(jié)載氣流量也沒多大變化，此時(shí)說明霧化器很有可能堵塞或破損。
(5) 環(huán)境因素造成的故障 若檢測(cè)過程中，發(fā)現(xiàn)儀器性能很不穩(wěn)定、短期精密變較高(如果不是因?yàn)閮x器預(yù)熱時(shí)間不夠)，則檢查實(shí)驗(yàn)室內(nèi)溫度及濕度是否達(dá)到要求。該儀器工作溫度范圍在15～35℃為最佳，且溫度變化不應(yīng)大于1℃／h，相對(duì)顯度較大時(shí)，不容易一次點(diǎn)火成功。
(6) 氣路系統(tǒng)故障
① 點(diǎn)火時(shí)發(fā)現(xiàn)等離子氣流量不足，調(diào)節(jié)流量器沒有多大變化。此時(shí)初步判定為氣路泄漏或氣路堵塞，處理方法按氣體管路接頭分段排查。
② 點(diǎn)火時(shí)發(fā)現(xiàn)等離子體發(fā)出“劈啪”聲音，而且不易點(diǎn)著。此時(shí)初步判定為氬氣含水分過高或氣體純度不夠，更換高純氬氣即可。
